Ученые изготовили наноразмерные диафрагмы на сверхгладких мелкозернистых пленках золота с помощью литографии пучка ионов гелия

Ученые изготовили наноразмерные диафрагмы на сверхгладких мелкозернистых пленках золота с помощью литографии пучка ионов гелия Источник фото: pixabay.com

Исследуемая специалистами процедура может быть применена для создания антенн различных геометрий и предназначений, которые необходимы для производства оптических и электронных устройств повышенной точности.

Ученые продемонстрировали простой трехэтапный процесс подготовки тонкопленочных образцов золота для улучшения их морфологии и литографической точности с использованием прямой записи на основе ионно-лучевой литографии гелия.

Процедура включает напыление металла, термообработку и зачистку шаблона, в результате чего получились гладкие монокристаллические зерна золота размером до 500 нанометров и средней шероховатостью поверхности в 0,267 нанометра.

Используя специальный подготовленный гелиевый ионный микроскоп, специалисты смогли изготовить структуры с размерами элементов не превышающими 20 нанометров с высококачественными боковыми стенками на золотой пленке толщиной 100 нанометров.

Демонстрация эффективности метода прошла успешно. С его помощью можно создавать наноразмерные диафрагмы с двойными наноотверстиями (DNH) для захвата одиночных наночастиц в единичное зерно золота толщиной 100 нанометров.

 

Источник: iopscience.iop.org